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直线电机・精密运动平台
基于直线电机驱动技术
实现高速高精度输送与精密定位的运动系统
Arerberte Technology Japan Co., LTD. 提供基于直线电机驱动技术的运动系统，可实现高速、高精度的输送以及精密的定位。
产品可广泛应用于半导体、电子元器件、FPD（平板显示器）、激光加工、自动化设备等诸多领域。
Arerberte Technology Japan 运动系统的特点
Arerberte Technology Japan 运动系统的特点
- 利用直线电机实现高精度直接驱动（直驱）
- 支持在同一轴上对多个动子进行独立控制
- 结构紧凑，具有高度的可扩展性
- 支持高速、高加速度运行
- 寿命长，维护成本低
- 可灵活应对十字型工作台（XY Stage）及龙门式（Gantry）结构
各类精密工作台・运动平台产品示例
精密静压气浮工作台（适用于晶圆检测与测量的高精度工作台）
XYZ运动平台（适用于LCD/LED激光加工）
XYZT高精度龙门平台（适用于半导体晶圆检测与测量）
超薄型模块（适用于空间受限且要求高精度的应用）
高精度大理石底座双轴模块（适用于多工位输送与高精度定位）
长行程直线电机模块（适用于高速、重载、长距离输送）
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