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直線馬達・精密運動平台
基於直線馬達驅動技術
實現高速高精度輸送與精密定位的運動系統
Arerberte Technology Japan Co., LTD. 提供基於直線馬達驅動技術的運動系統，可實現高速、高精度的輸送以及精密的定位。
產品可廣泛應用於半導體、電子零組件、FPD（平板顯示器）、雷射加工、自動化設備等諸多領域。
Arerberte Technology Japan 運動系統的特點
- 利用直線馬達實現高精度直接驅動（直驅）
- 支援在同一軸上對多個動子進行獨立控制
- 結構緊湊，具有高度的可擴充性
- 支援高速、高加速度運行
- 壽命長，維護成本低
- 可靈活因應十字型工作台（XY Stage）及龍門式（Gantry）結構
各類精密工作台・運動平台產品範例
精密靜壓氣浮工作台（適用於晶圓檢測與測量的高精度工作台）
XYZ運動平台（適用於LCD/LED雷射加工）
XYZT高精度龍門平台（適用於半導體晶圓檢測與測量）
超薄型模組（適用於空間受限且要求高精度的應用）
高精度大理石底座雙軸模組（適用於多工位輸送與高精度定位）
長行程直線馬達模組（適用於高速、重載、長距離輸送）
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